ERS AC3 TS010 Chiller不制冷情況 維修

半導體專用溫控裝置（Chiller）主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制，主要由熱交換器、循環泵、壓縮機和控制系統構成的一個自我平衡的循環裝置，屬于生產過程中的溫控設備。在常規PID控制算法的基礎上加入了預測控制技術和自適應控制技術，并采用變頻控制及兩級閉環節能控制，顯著地提高了Chiller的穩定性、控制精度和響應速度。

AC3系統的核心是ACP空氣管理系統技術。在兩端式的冷卻操作中，提取冷卻的空氣。使用過的干燥的靜靜冷空氣還可以作為節約成本的凈化空氣，重新吹向卡盤，以防止晶圓和其周圍區域結冰。

ERS AC3 TS010 Chiller不制冷情況 維修

應用于半導體制造和測試領域，包括晶圓測試、芯片封裝等環節。在晶圓測試中，該系統能夠實現對晶圓溫度的精確控制，從而提高測試的準確性和可靠性。在芯片封裝中，ERS Electronic AC3能夠應對晶圓和PCB板的翹曲問題，確保封裝的穩定性和質量。

zonglen chiller

溫度范圍：-20°C~+90°C

控溫精度：±0.1℃

觸摸屏操作，人機交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時運轉、液面降低、停電復位、防凍功能

溫度波動小