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PARECT 電空減壓閥

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產品型號EVS2

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產品簡介

本品是30mm寬的小型、輕量、高性能電空減壓閥。半導體、精密貼裝領域的先導減壓閥的控制、各種按壓控制、微速氣缸控制。行業半導體制造工序（后工序）

詳細介紹

【小型】
30×39×57.1（寬×高×長）。
小型、輕量，有助于裝置的小型化。

【高精度】
通過電氣信號，高精度、高速響應地控制流體壓力。
重復性：0.3%F.S.
分辨率：0.1%F.S.
響應時間：0.1sec（無負荷）

【動作狀態采用雙色進行顯示】
采用雙色顯示動作指示器，設定壓力時，顯示為綠色，設定以外與錯誤時，顯示為紅色。

【配管、配線作業簡單】
空氣配管：采用快插接頭，電氣配線：采用M12接頭，配管、配線作業簡單。

型號	名稱	壓力控制范圍(MPa)	配管口徑(Φ）	備注
EVS2-100	PARECT 電空減壓閥	0.001～0.1	4, 6
EVS2-500	PARECT 電空減壓閥	0.005～0.5MPa	4, 6

關鍵詞：PA 減壓閥

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