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太赫茲近場光學顯微鏡-THz-NeaSNOM

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產品簡介

--30nm光學信號空間分辨率太赫茲(THz)光源波長較大,一般在300微米左右。由于衍射極限的存在,THz遠場測量系統的光學空間分辨率一般被限制在150微米左右。該THz光遠場測量結果的準確度經常無法滿足對材料科學研究,尤其是需要納米分辨率的微細尺度材料分布研究(例如半導體芯片中各個組成:源極,漏極,柵極)的實驗。THz-NeaSNOM近場光學顯微鏡的出現為此難題提供了一個很好的解決方案。德國neaspec公司與Fraunhofer IPM在neaspec公司neaSNOM近場光學顯微鏡的基礎上,已經成功研發了一套易用使用且THz系統的空間分辨率達到30nm的實驗設備。

詳細介紹

產品特點/基本參數


+ 優于30nm的空間分辨率
+ 常用THz光范圍:0.1-3THz
+ 設計的寬波段拋面鏡
+ THz研究可使用商業化的AFM探針
+ THz-TDS使用飛秒激光光源
+ 簡單易用,穩定性高


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